當(dāng)廢氣進(jìn)入等離子光解一體機(jī)凈化設(shè)備內(nèi)時,先經(jīng)過等離子體化學(xué)反應(yīng)過程,即電子首先從電場獲得能量,通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去,獲得能量的分子或原子被激發(fā),同時有部分分子被電離, 從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子,活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。(在外加電場的作用下,介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子,使其電離,解離和激發(fā),然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理,化學(xué)反應(yīng),使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì),或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì),從而使污染物得以降解去除。)然后部分有機(jī)廢氣再通過破壞,分解,催化氧化把污染氣體分解為無毒無害無味氣體。采用高能c波段光線強(qiáng)裂污染氣體分子鏈,改變物質(zhì)分子結(jié)構(gòu),將高分子污染物質(zhì)裂解,氧化成為低分子無害物質(zhì),如水和二氧化碳等。o3強(qiáng)催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細(xì)菌,將有毒有害物質(zhì)破壞且改變成為低分子無害物質(zhì)。在c波段激光刺激催化劑涂層產(chǎn)生活性,強(qiáng)化催化氧化作用。在分解過程中產(chǎn)生高能高臭氧uv紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧,即活性氧,因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合,進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。uv o2→o- o*(活性氧)o o2→o3(臭氧),眾所周知臭氧對有機(jī)物具有極強(qiáng)的氧化作用,對惡臭氣體及其它刺激性異味有極強(qiáng)的清除效果。o3也為強(qiáng)催化氧化劑進(jìn)行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中細(xì)菌的分子鍵,破壞細(xì)菌的核酸（dna）,再通過臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng),徹底達(dá)到脫臭及殺滅菌的目的。
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