在裂紋的應用方面,分為兩個部分。一個是隱切,通過使激光垂直作用于材料表面,在材料內(nèi)部形成一個一個的光斑,后期使用機械方式或其他的方式可以使材料沿加工路徑裂開得到裂片,這種隱切主要是應用在led燈條方面。另一個是成絲。簡單來說就是將一個圓形光斑通過doe(diffractive optical elements,衍射光學元件)整形成長絲狀,用于連續(xù)切割,可以穿透物體一次性切透。材料方面厚度的選擇可以在0.2-2mm之間。ppt右下角展示的是2mm的玻璃的一個切割效果圖。
去除使用的脈沖能量和前面有所不同。前面提到的裂紋應用所用的脈沖能量并不高,它只會在切割的點位產(chǎn)生一些熔點,而不會對整個材料產(chǎn)生影響。而去除常用的是振鏡,等于是把材料燒蝕,使用的脈沖能量比較大。它是一個從固態(tài)到氣化的過程。主要應用有鍍層油墨的去除,藍寶石上pvd的去除,刻字,帶有玻璃和藍寶石上的挖槽,藍寶石和玻璃的打孔,藍寶石和玻璃的切割等方面。
下面我們來看應用實例。我們手機后面的薄片主要分為藍寶石或玻璃兩類,iphone手機多用藍寶石。如ppt所示,一整片藍寶石晶圓通過一種吊籃裝夾以后,進入下一步的去除應用,在相應位置生產(chǎn)出對應孔,并能做到崩邊小于20μm,錐度小于兩度,相當于垂直。同時,為了提高單位效率,我們會采用雙頭的裂縫光用于現(xiàn)有的切割,速度能達到兩秒鐘切一片,崩邊可以做到小于10μm,錐度也可以做到兩度。另外4pd(4 point bend,四點彎曲)的強度,我們可以做到600mpa以上。
藍寶石攝像頭窗口片的加工與手機薄片略有不同,主要區(qū)別在于晶圓是否帶油墨。手機薄片的切割過程不存在傷害油墨的問題,而攝像頭窗口片是鍍完油墨再進行切割,這對工藝和技術的要求更高,可能存在油墨燒傷后造成漏光的問題。所以我們會針對藍寶石窗口片加工采用新一代的應用技術,在光路上進行調(diào)整,能做到崩邊和錐度跟以前一樣,油墨損傷小于50μm。
以上是我做的一個簡單分享,謝謝大家!
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