廣東無塵車間工程，集成電路設(shè)計(jì)施工要求
廣東無塵車間工程，集成電路設(shè)計(jì)施工要求無塵車間是指將空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、無塵車間室內(nèi)空氣壓力、無塵空間氣流速度與分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在要求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的車間。
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好的潔凈車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，ffu循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本低，潔凈度安全性高，因此集成電路潔凈廠房多采用ffu循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢
無塵車間
2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0。2m/s。
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隨著集成電路制造技術(shù)的不斷升級，主流大廠已經(jīng)進(jìn)入了納米時(shí)代，集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升，為先進(jìn)制程產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。
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