? ?德國real hm3-50非接觸表面輪廓測量儀一款專門針對需要非接觸獲取表面高度或輪廓曲線的儀器,?采用創(chuàng)新的光譜共聚焦原理,?通過探頭掃描的方式獲取輪廓，并通過配套設計的軟件進行截面分析和測量，記錄測量數(shù)據(jù)，并帶有控制圖表和cpk等spc統(tǒng)計功能，并能導出測量數(shù)據(jù)為excel兼容格式。? ?光譜共聚焦原理：是一束多波長混合光束，聚焦到一個點上，由于各種波長光線折射率不同，聚焦的位置也不同。聚焦在物體反射表面上的波長的光線，經(jīng)過聚焦后通過一個微孔到達光譜分析儀器，其它波長的光線由于沒有聚焦在物體表面，反射的光線只有極少能通過微孔，因此測量光線主波長就可以對應地得到該物體表面的高度。??該測量方法的優(yōu)點是，對物體表面光學特征不敏感，可以測量各種顏色，各種反射度，各種透射率，包括透明材料和鏡面反射材料。而且由于光線從四面八方照射到樣品，對表面突變的邊緣不易產(chǎn)生影響測量的陰影效應。由于光譜分析儀器的分辨率可以達到納米級別，且對外界干擾光不敏感，所以測量精度高且穩(wěn)定性好。掃描臂和測量平臺可分體的模塊化設計，使得要測量很大的樣品只需把掃描臂固定到更大的平臺上，具有更好的靈活性和可擴展性。掃描臂主體框架采用穩(wěn)定精密的單塊花崗石架構，提高穩(wěn)定性，減少機架采用不同材料產(chǎn)生的熱膨脹變形。設計時充分考慮到發(fā)熱部件的安裝位置和散熱，減少發(fā)熱部件對架構的熱變形影響。掃描軸使用光柵尺閉環(huán)位置反饋控制，沒有絲桿驅動產(chǎn)生的發(fā)熱膨脹以及磨損和間隙，運動精度穩(wěn)定可靠。亞微米級別的測量對震動非常敏感。測量平臺可以配套安裝氣浮隔振器，利用帶阻尼機構的空氣懸掛吸收和隔離大部分外界震動，可以減少樣品移位和讀數(shù)跳動，提高精度。平臺自帶水平儀，方便用戶隨時監(jiān)控平臺是否放置水平，提高測量可靠性。采用測量探頭運動樣品不運動的設計，可以避免樣品產(chǎn)生震動和搖晃，并避免了樣品運動和空氣碰撞產(chǎn)生的氣流影響，可以大幅度提高測量精度，對于未固化的漿料、膠水、油墨濕膜以及薄或柔軟的、底部不平整度大于測量分辨率的基材來說，這一特點非常重要。
高度測量分辨率：?8~22nm（8@采用過采樣平均時）
重復精度：?0.1um（@10mm距離的標準表面）
最高采樣頻率：?900樣品/s?（測量頭靜態(tài)可達2000樣品/s)
量程:?400um(考慮到傾斜和變形，推薦350um以下)
可測量表面:?漫反射/透明/鏡面，固態(tài)液態(tài)均可（銀漿、油墨、涂層等均可）
z軸可調整范圍：?35mm
最大掃描距離：?50mm
掃描軸線性度：?0.001%（校準后）
掃描軸最小步距：1um（更小需要定制）
最快掃描速度：30mm/s（更大可定制）
平臺尺寸：600x800（更大可定制）
使用環(huán)境要求：遠離震動和強光，無塵，恒溫建議放在基礎層樓層穩(wěn)固的桌子（20℃±1℃，至少10萬級潔凈度，照度低于100lux，濕度<60%rh且較穩(wěn)定）
電源電壓：?220v正負10%，交流50hz
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