EVG小批量半自動晶圓鍵合系統(tǒng)EVG520IS
evg小批量半自動晶圓鍵合系統(tǒng)evg520is
evg520is是一款設(shè)計用于小批量生產(chǎn)的半自動晶圓鍵合系統(tǒng)， 最大硅片允許尺寸為200mm。集evg最新技術(shù)及客戶反饋基礎(chǔ)上設(shè)計的evg520is，配備了evg公司的專利吸盤設(shè)計---這種吸盤可以提供對稱的快速加熱和冷卻功能。evg520is的很多優(yōu)勢特性，如獨(dú)立的上下盤加熱和高壓鍵合工藝、高度的材料和工藝靈活性等，都幫助客戶很好的實(shí)施鍵合研究和生產(chǎn)。
二、應(yīng)用范圍
主要應(yīng)用于mems制造、微流體芯片、化合物半導(dǎo)體的薄片處理、晶圓級先進(jìn)封裝以及3d互聯(lián)、tsv工藝。
三、主要特點(diǎn)
精確的硅片低壓契型補(bǔ)償系統(tǒng)以提高良率
優(yōu)異的溫度壓力均勻性
工藝菜單與其他鍵合系統(tǒng)通用
手動上料和下料臺，全自動工藝過程，外置冷卻臺
單一或雙腔式設(shè)計
全自動鍵合工藝執(zhí)行和鍵合室自動開合設(shè)計
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EVG小批量半自動晶圓鍵合系統(tǒng)EVG520IS
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