太陽(yáng)能單晶硅片
1.外形尺寸
規(guī) 格
對(duì)邊長(zhǎng)度（mm）
對(duì)角長(zhǎng)度(mm)
弧長(zhǎng)(mm)
厚度
6寸
125±0.3
150±0.3
29.75±1
160-200
6.5寸
125±0.3
165±0.3
12.50±1
160-200
8寸
156±0.3
200±0.3
21.81±1
180-220
2. 表面質(zhì)量
2.1 硅片經(jīng)超聲清洗干燥后，無(wú)氧化花紋和色斑。
2.2 硅片表面應(yīng)平整、光滑，無(wú)明顯線(xiàn)痕，片體無(wú)油污和手印，潔凈光亮。
2.3 硅片不允許有裂紋、缺口、空洞。
2.4 硅片端面無(wú)“v”形缺口。每片崩邊總個(gè)數(shù)小于1，范圍0.3×0.2mm。
3 尺寸偏差
3.1 邊長(zhǎng)
硅片的邊長(zhǎng)偏差為正負(fù)0.5mm。
3.2厚度
a) 硅片的厚度偏差不大于0.02mm；
b) 根據(jù)硅片中心點(diǎn)測(cè)量，一批硅片厚度變化應(yīng)不大于15%。
4. 物理參數(shù)
項(xiàng) 目
參 數(shù)
p型電阻率 ω . cm
0.5～6
碳濃度atoms/ cm3
≦5×1016
氧濃度atoms/cm3
≤1×1018
摻雜劑
硼
p 型少數(shù)載流子壽命 μs
≥10
ttv um
≤30
翹曲度um
≤40
晶向
＜100＞
位錯(cuò)密度 個(gè)／㎝3
≤3000

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