- 品牌:aerotech
- 型號(hào):ABL9000
- 用途:晶圓切割
abl9000氣浮平臺(tái)
1世上**性能的氣浮平臺(tái),適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測(cè)和加工等要求苛刻的場(chǎng)合2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)3行程達(dá)1.2米x1.2米4y軸雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)5直線編碼器或激光干涉儀反饋6主動(dòng)控制偏轉(zhuǎn)行程≤1200mm精度±0.50um重復(fù)定位精度±0.10um直線度±0.50um平面度±0.50um相關(guān)文檔下載
ahl9000直線電機(jī)平臺(tái)
1專為晶片檢測(cè),平板顯示加工和光學(xué)檢測(cè)及制造應(yīng)用設(shè)計(jì)2掃描軸是空氣軸承,步進(jìn)軸是機(jī)械軸承3行程達(dá)1.2米x1.2米4雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)步進(jìn)軸5直線編碼器或激光干涉儀反饋行程≤350mm精度±1.0um重復(fù)定位精度±0.20um直線度±0.60um平面度±0.60um相關(guān)文檔下載
abg10000氣浮平臺(tái)
1氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)超平滑運(yùn)動(dòng)2所有軸都預(yù)加載荷3下面軸采用雙無(wú)刷直線伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)3行程達(dá)1mx1m4非接觸直線編碼器(光柵)5可選z軸,隔振,機(jī)械底座和控制箱6適用于高速拾取/放置,自動(dòng)化裝配,視覺(jué)檢測(cè),點(diǎn)膠機(jī),高精度檢測(cè).travel行程≤1000mmaccuracy精度±2.0umload負(fù)載84kg相關(guān)文檔下載
fibercouple130平臺(tái)
1同一條導(dǎo)軌上兩個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)2獨(dú)立或并列運(yùn)動(dòng)32.5nm分辨率4非接觸直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)5交鑰匙的配套驅(qū)動(dòng)和控制系統(tǒng)6適合輔助軸相關(guān)文檔下載
vasculatheacs/asr
1.直線平臺(tái)與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的高度集成化2.er筒夾系統(tǒng)使材料箝位自動(dòng)化3.可選夾緊裝置夾緊管4先進(jìn)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)5.單或雙主軸結(jié)構(gòu)6.可選擇濕切割7.擁有兩項(xiàng)專利patentno.7,038,334patentno.7,105,956相關(guān)文檔下載
laserturn
1.直線平臺(tái)與旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的高度集成化2.氣動(dòng)3爪卡盤或er筒夾3.較大的通孔可以使產(chǎn)品通過(guò)4.可選擇在前后加工的平臺(tái)5.直接驅(qū)動(dòng)直線和旋轉(zhuǎn)電機(jī)技術(shù)相關(guān)文檔下載
planarhd氣浮平臺(tái)
1**2m/s掃描速度和5g加速度的輸出2最快的轉(zhuǎn)向和最小的穩(wěn)定時(shí)間3主動(dòng)偏轉(zhuǎn)控制4直線光柵或激光干涉儀反饋5行程1.2mx1.2m行程≤1200mm精度±300nm重復(fù)定位精度±50nm分辨率0.25nm相關(guān)文檔下載
apt系列平轉(zhuǎn)和傾斜組合轉(zhuǎn)臺(tái)
1滿足安全,國(guó)防建設(shè)和監(jiān)測(cè)全球市場(chǎng)的需要2把先進(jìn)的高精密機(jī)械與業(yè)界領(lǐng)先的控制技術(shù)結(jié)合在一起3慣性穩(wěn)定4包含內(nèi)置滑環(huán),可連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°5高定位精度和速度性能6易于安裝和系統(tǒng)集成的集成電路7低維護(hù),高可靠性提供最低的擁有成本平轉(zhuǎn):**速度180°/秒,持續(xù)360°傾斜:**速度180°/秒,范圍為±95°位置分辨率:7.6弧秒定位精度:120弧秒有效載荷:35公斤相關(guān)文檔下載
smp
1,同時(shí)進(jìn)行頂部和側(cè)面的3d表面測(cè)量2,提高產(chǎn)量3,節(jié)省時(shí)間和經(jīng)費(fèi)
agv振鏡
1,光學(xué)反饋裝置提供優(yōu)秀的熱穩(wěn)定性2,使用aerotech的nmarkcls控制器,可以實(shí)現(xiàn)工業(yè)級(jí)**的24位分辨率3,光圈和焦距的范圍廣4,多選擇的鏡面處理適應(yīng)于多種激光波長(zhǎng)
ant系列納米技術(shù)平臺(tái)
1,大行程2,高動(dòng)態(tài)性能3,高精度4,高分辨率5,易使用軟件
北京微納通科技有限公司(華南區(qū))
覃獻(xiàn)文
15338897721
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