美國(guó)AJA ATC-IM系列離子束刻蝕系統(tǒng)
aja國(guó)際公司的atc 離子束刻蝕系統(tǒng)用途廣泛，可根據(jù)需求定制化配置。
根據(jù)用戶應(yīng)用特點(diǎn)，這些定制化系統(tǒng)采用了超高性能的基片支架和離子束源。腔室大小從直徑10"-22"不等，還能夠配置電腦控制系統(tǒng)，預(yù)真空室，自動(dòng) 裝 加載和可帶光罩交換系統(tǒng)的6卡槽片盒站。
這些系統(tǒng)的特點(diǎn)是具有獨(dú)一無(wú)二的刻蝕平臺(tái)設(shè)計(jì)，在相當(dāng)廣泛的工藝應(yīng)用中它可以最大容納直徑為8”的樣品，從微納模式描繪到晶圓平展化。這些基片支架由aja獨(dú)立設(shè)計(jì)與生產(chǎn)，并且還有許多市場(chǎng)需要的功能特性可供選擇，比如冷卻，偏轉(zhuǎn)和旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。?
針對(duì)冷卻系統(tǒng)，我們可以提供多種方式，包括水冷，液氮和背部氦氣或氬氣結(jié)合冷卻，帶有同步旋轉(zhuǎn)和偏轉(zhuǎn)功能。
aja 生產(chǎn)并集成了大量的技術(shù)先進(jìn)的有柵極，無(wú)柵和rf射頻離子束源，能夠很容易地配置到相應(yīng)設(shè)備上，包括反應(yīng)和惰性刻蝕工藝。這些離子束源能夠根據(jù)您的需求安裝，直接對(duì)準(zhǔn)基片或成一定入射角。
aja致力于研發(fā)生產(chǎn)薄膜沉積系統(tǒng)，包括磁控濺射系統(tǒng)，電子束蒸發(fā)系統(tǒng)，熱蒸發(fā)系統(tǒng)和離子束刻蝕系統(tǒng)。1989年william hale在美國(guó)馬薩諸塞州創(chuàng)立了aja這個(gè)品牌，開始是以物理氣相沉積產(chǎn)品供應(yīng)商問世。隨著越來越多的系統(tǒng)和磁控濺射源暢銷世界，aja國(guó)際公司不斷突破自己，發(fā)現(xiàn)更多創(chuàng)新設(shè)計(jì)解決方案。其中一些方案一直被模仿，但從未被超越。aja始終保持著薄膜技術(shù)領(lǐng)域的前沿地位。
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重慶眺望科技有限公司
13668092860
中國(guó) 重慶
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